長岡の 「ものづくり」 5つの強み!ものづくりでお困りの方、技術・製品をお探しの方、新たなビジネスパートナーをお探しの方、ぜひ長岡にご相談ください。
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高度な技術をもつ「ものづくり企業」がバランスよく集結
  A 歴史ある工作機械産業から培った多様性を誇る「高度な技術力」
    B 「3 大学1 高専」が集積する優れた人材の宝庫
      C 「産学連携」に対する積極的な支援体制
        D 主要都市との利便性の高い交通アクセス
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デジタル露光装置
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株式会社 アドテックエンジニアリング



ウインテクノロジー 株式会社



有限会社 反町精密

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株式会社 コアシステム     かぶしきがいしゃ こあしすてむ

TEL: 0258- 31-6233 FAX: 0258-37-3744
株式会社 コアシステムの所在地
URL: www.csys.jp E-mail:

本Webサイトでは、スパムメール対策として@を「AT」で表記しております。

●企業の特徴   ●得意とする技術・分野

 
コアシステムは特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ(Si, SiC, GaN, etc)、MEMS,ハードディスク、FPD要機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「3D画像データ」を表示します。   特許第3210749号「形状判定装置」の応用商品「レーザ走査表面形状検査機:CSYSシリーズ」で、半導体・MEMS・ハードディスク・FPD用機能性フイルム・スパッタ薄膜などの業界に、これまでとは違う新しい「高性能表面検査機」を提案し実績を上げている。
 会社概要
代 表 者 名 代表取締役 小埜寺 正臣
本社所在地 940-1162 長岡市西宮内2‐144
資  本  金
設立年月日 平成9(1997)年6月27日
従 業 員 数 5名
担 当 窓 口 代表取締役 小埜寺 正臣
 
 
主要製品・加工品の紹介
「レーザ走査表面形状検査機“CSYS 12シリーズ:4機種」完成。2012年4月発売開始
●判定検出感度:XY(平面):50nm(0.05μm)
Z(高さ):0.1nm(0.0001μm)=1A
●測定ワークサイズ対応4機種:Φ10〜100mm、Φ10〜200、Φ10〜300、Φ10〜450(mm)
●レーザ光源:半導体LD(青紫色:405nm、赤色:655nm選択可能)
●高速走査(スキャニング):0.52msec/40mmと、早いため振動などの設置環境に強い。
●半導体・MEMS・ハードディスク・FPD用機能性フイルム・スパッター薄膜業界などの研究開発部門並びに量産製造工程で採用実績がある。

【レーザ走査表面形状検査機】
●半導体各種ウエハ、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの表面の(微細な表面形状・表面粗さ・うねり・パーティクル・キズ欠陥)を短時間に、全面を測定してデジタルデータと3D画像データを表示し、上下のスライスレベルで「良/否」判定選別をします。
 
主要設備
 
主要取引先
キャノン、富士電機富士フイルム、信越半導体、昭和電工、東洋鋼鈑、住友金属ファインテック、東芝、栄興業、田中貴金属工業、K o m a g I n c . C A . U . S . A . 、S e a g a t e Tech, CA.U.S.A.、Peripheral Tech、 CA. U.S.A.、



 
   
 
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